等離子清洗機(jī)真空腔體（www.sfi-crf.com）是一種維持真空泵內(nèi)部狀況的容器，真內(nèi)腔的品質(zhì)是等離子清洗機(jī)質(zhì)量特性好與壞的條件之一。不管是鍍膜或是表面產(chǎn)品等作業(yè)是需要在腔體內(nèi)進(jìn)行一系列的操作，腔體的設(shè)計(jì)需要考慮到容積、使用的原材料和根據(jù)不同設(shè)備使用的形狀。

    有些等離子清洗機(jī)是為了半導(dǎo)體清洗而設(shè)計(jì)的，以便半導(dǎo)體材料運(yùn)用中真內(nèi)腔的總數(shù)，開發(fā)設(shè)計(jì)了真內(nèi)腔，圓晶容積基礎(chǔ)不會(huì)改變。該構(gòu)造選用含有壓力差真空泵槽的預(yù)訂位氣滾動(dòng)軸承的泵。不銹鋼板是建造真內(nèi)腔的關(guān)鍵構(gòu)造材料之一，也可以根據(jù)實(shí)際的需求采用不同的材質(zhì)。在其中三百系列產(chǎn)品不銹鋼板為百分之十到百分之二十高碳鋼，廣泛運(yùn)用于高真空、超高裝置之中。

    方便減少真內(nèi)腔的產(chǎn)品成本，鋁合金鑄造也獲得了普遍的運(yùn)用。除此之外，也有很多應(yīng)用鈦金屬生產(chǎn)制造專用型真空內(nèi)腔的設(shè)備。為了減少內(nèi)腔內(nèi)壁的面積，一般選用噴砂處理或化學(xué)拋光的方式得到光滑的表面。選用電解拋光對(duì)超高真空系統(tǒng)的內(nèi)腔開展了生產(chǎn)加工，電焊焊接是真內(nèi)腔生產(chǎn)制造的關(guān)鍵步驟之一。為了防止熔化金屬材料和氧在空氣中的產(chǎn)生的化學(xué)變化從而讓電焊焊接品質(zhì)遭受危害，一般選用氬弧焊進(jìn)行電焊焊接。氬弧焊就是指在電焊焊接全過程中在鎢電極周邊，噴涌出氬氣以避免金屬材料在高溫下空氣氧化。